森美协尔 FA系列 手动探针台
型 号：FA系列
名 称：手动探针台
品 牌：森美协尔(SEMISHARE)
分 类：半导体设备 > 半导体资料测试 > 探针台
产品属性：主机
简 述：
FA系列探针台是专为失效分析尝试室设计的一款量测设备，具光学个性、激光个性，设备结构不变，系统机能优异， 支持多职能升级，产品职能丰硕齐全。
申请服务
FA系列探针台是专为失效分析尝试室设计的一款量测设备，具光学个性、激光个性，设备结构不变，系统机能优异， 支持多职能升级，产品职能丰硕齐全。
产品亮点：FA系列手动探针台
- 支持加载针卡，提升点针测试效能
- 卡盘可起落调节，便于样品急剧分离探针
- 标配金相显微镜，达到1μm以上的Pad测试
- 显微镜气控式起落调节
- 多波段激光利用，急剧切换更精准切割
产品参数：FA系列手动探针台
| 规格 | FA8 | FA8-SC | |
| 表形 | 960mm长*850mm宽*1500mm高 | 880mm长*860mm宽*1550mm高 | |
| 沉量 | 约260KG | 约280KG | |
| 电力需要 | 220VC,50~60Hz | ||
| 样品台 | 尺寸 | 8英寸，可360度旋转 | |
| 行程 | X-Y行程8*8英寸 | ||
| 移动精度 | 1um | ||
| 样品固定方式 | 真空吸附 | 真空吸附 | |
| 温控领域 | - | ﹣80~200℃ | |
| 急剧拉出 | - | 有 | |
| 特殊使用 | 电学独立悬空，可作为背电极使用 | ||
| 针座平台 | 规格 | U型平台，最多可搁置10个针座 | O型平台，最多可搁置12个针座 |
| 行程&调节方式 | 平台能够急剧起落，行程 6mm并带自动锁定职能; | ||
| 光学个性 | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm | X-Y轴行程1英寸*1英寸，Z轴：50.8mm |
| 放大倍数 | 20~4000X | ||
| 镜头切换时操作 | 急剧倾仰/气动起落 | ||
| CCD像素 | 50W（仿照）/200W（数字）/500W（数字） | 50W（仿照）/200W（数字）/500W（数字） | |
| 激光个性 | 波段 | 波长可选择1064/532/355/266nm波段 | |
| 功率 | 输出功率2.2mJ/pulse （可升级） | ||
| 微加工能力 | 可加工材质：Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF内杂质等 | ||
| 精度 | 最幼可加工精度1*1um（配置100X镜头时） | ||
| 冷却方式 | 可选择风冷激光或水冷激光 | ||
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | |
| 机械精度 | 2微米/0.7微米/0.1微米 | ||
| 漏电精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱时） | ||
| 接口大局 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口 | ||
（*规格和设计如有更改，恕不另行通知。）
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