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¿¨ÅÌÒƶ¯Æ½Ì¨£¨³ß¶ÈÅäÖã©
| XYÐгÌÁìÓò | 150mm*150mm/200mm*200mm/300 mm x 300 mm |
| XY×î¼ÑÐÐ³Ì | 300mm x 300 mm£¨Âú×ã´óÁìÓòÐг̲âÊÔ£© |
| Òƶ¯¾«¶È/·Ö±æÂÊ | < 1.0 ?m (~1 mm/rev) |
| ƽÃæÐÔ | ¡À5?m |
| thetaÐÐ³Ì | ´Öµ÷£º360¡ã |
| ΢µ÷¾«¶È£º¡À 8.0¡ã | |
| ·Ö±æÂÊ£º7.5 x 10-3 gradient | |
| »î¶¯½ÚÔì | Æø¿Ø+´óÊÖ±ú½ÚÔì |
| ZÖá¼±¾çÆðÂä | ¼±¾çÆðÂ䣺3mm |
| ΢µ÷ÆðÂ䣺0-13mm,¾«¶È£º¡Ü2?m |
ÊÖ¶¯ÏÔ΢¾µÆ½Ì¨
| Òƶ¯ÁìÓò | 50 mm x 50 mm |
| Òƶ¯·Ö±æÂÊ | ¡Ü2?m |
| ÏÔ΢¾µZÆðÂä | 25mm-100mm *È¡¾öÓÚÏÔ΢¾µÅäÖà |
| Æø¶¯ÆðÂä50mm | |
| »î¶¯½ÚÔì | ¶ÀÁ¢½ÚÔìµÄXºÍYÐýÅ¥ |
Õë×ùƽ̨
| ×ÊÁÏ | ¸Ö¶ÆÄø |
| ×î´óÕë×ùÊýÁ¿ | 8 DC and 4 RF(È¡ÓÚÕë×ùÅäÖÃ) |
| ¿¨Å̵½Õë×ùƽ̨ϵ×Ãæ×î¼Ñ¾àÀë | 8mm£¨¿¨ÅÌÉϱí±íÓëÕë×ùƽ̨ϱí±í£© |
| Z-height»î¶¯ÁìÓò | Max.0-40mm (È¡ÓÚ¿¨ÅÌÅäÖÃ) |
| Õë×ùƽ̨ÆðÂä | 3¶Î£º·ÖÀë(300?m)£¬¿¨ÅÌ×°ÔØ(2-5mm),²»¼ä¶ÏÆðÂ䣨0-40mm) |
| ½Ó´¥³Á¸´ÐÔ | < ¡À1?m |
| RF Õë×ù¹Ì¶¨ | ´ÅÁ¦Îü¸½/Õæ¿ÕÎü¸½ |
| DC Õë×ù¹Ì¶¨ | ´ÅÁ¦Îü¸½/Õæ¿ÕÎü¸½ |
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