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Keithley 2460 数字源表?源丈量单元（SMU）仪器

Keithley 2460 数字源表?源丈量单元（SMU）仪器

Keithley 2460 数字源表?源丈量单元（SMU）仪器

浏览量：9581

型　　号：2460

名　　称：数字源表?源丈量单元（SMU）仪器

品　　牌：吉时利(Keithley)

分　　类：通用电子测试 > 微幼信号丈量 > 源丈量单元

所属系列：2400系列

产品选型：

2400 2410 2420 2440 2450 2460 2461

产品属性：主机

简　　述：

2460型大电流数字源表?源丈量单元（SMU）仪器为您带来先进的Touch, Test, Invent?（触摸、测试、发现）技术。它选取创新的图形用户界面(GUI)和电容触摸屏技术，不仅使测试直觉，并且实现进建曲线缩短，援手工程师和科学家更迅快进建、更聪明工作、更容易发现。

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2460 数字源表?源丈量单元（SMU）仪器概述：

2460型大电流数字源表?源丈量单元（SMU）仪器为您带来先进的Touch, Test, Invent?（触摸、测试、发现）技术。它选取创新的图形用户界面(GUI)和电容触摸屏技术，不仅使测试直觉，并且实现进建曲线缩短，援手工程师和科学家更迅快进建、更聪明工作、更容易发现。2460型仪器拥有7A直流和脉冲电流能力，已为高功率材料、器件和�？楦鲂苑治龊筒馐远呕�，如碳化硅 (SiC)、氮化镓(GaN)、DC-DC转换器、功率MOSFET、太阳电池和面板、LED与照明系统、电化学电池与电池组，等等。这些新的能力加上吉时利数十年开发高精密、高精度源测量单元（SMU）仪器的专长，使得2460型仪器成为将来尝试室和机架大电流畅用的沉要仪器。

2460 数字源表?源丈量单元（SMU）仪器重要个性：

在一个紧凑仪器内集成了分析仪、曲线追踪仪和I-V系统等多种能力，成本更低
动态领域宽，105V, 7A DC/7A 脉冲, 100W（最大值）
5英寸、高分辨率、电容触摸屏图形用户界面(GUI)
根基丈量正确度0.012%，6位半数字分辨率
源和阱(4象限)操作
4个“Quickset”模式，用于急剧设置和丈量
布景敏感的援手职能
前面板输入香蕉插孔；后面板集体输入螺丝衔接
2460 SCPI与TSP?剧本编程模式
前面板USB 2.0存储器I/O端口，用于传输数据、测试剧本或测试配置

更迅快进建、更聪明工作、更容易发现
2460型仪器选取5英寸、全彩色、高分辨率触摸屏，支持直观操作，援手操作人员迅快熟悉仪器，优化整体快率和出产率�；诠獗甑牡ヒ徊说ソ峁�，使测试配置所需步骤削减50%，并且省去软键仪器普遍使用的繁琐的多层菜单结构。内建的布景敏感的援手职能，支持直观操作，并把浏览单独菜单的需要降至更少。这些个性以及2460型仪器的多职能性，简化了其在基础丈量和先进丈量利用中的操作，无论用户是否拥有使用源丈量单元（SMU）仪器的工作经验。

2460型仪器主界面

2460型仪器基于光标的菜单结构，能够援手新用户迅快和自负地配置测试。

一体化源丈量单元（SMU）仪器
2460型仪器基于获奖的第四代源丈量单元（SMU）平台，并充分利用已被证明的吉时利大电流源测量单元（SMU）仪器（蕴含2420、 2425和2440型仪器）的能力。该仪器可提供高度矫捷的4象限电压和电流源/负载，适合高精密电压和电流丈量。这款一体化源丈量单元（SMU）仪器能够用作：

2460型仪器功率包络

高精密电源，拥有V和I回读职能
真正的电流源
数字多用表(数字电压计、数字电流计、电阻计和功率计，拥有6位半分辨率)
高精度电子负载
触发节造器

2420/2425/2440型	2460型
最大电压: 60V/100V/40V	最大电压: 100V
最大电流: 3A/3A/5A	最大电流: 7A
直流功率: 60W/100W/50W	直流功率: 100W
宽频带噪声: 10mVrms 典型值	宽频带噪声: 2mVrms 典型值
扫描类型：线性、日志、定造、源-存储	扫描类型：线性、日志、双线性、双日志、定造
5000 点读数缓存	>250,000 点读数缓存
>2000 读数/秒	>3000 读数/秒
SCPI 编程	SCPI 编程 + TSP 剧本
GPIB, RS-232	GPIB,USB, 以太网(LXI)
前/后面板香蕉插孔	前面板：香蕉插孔后面板：螺丝端子衔接

易用性超过触摸屏
除了选取先进的触摸屏，2460型仪器的前面板还提供改进快率、用户敦睦性和可进建性的诸多个性，蕴含USB 2.0存储器I/O端口、HELP键、旋转导航/节造旋钮、前面板/后面板输入选择按钮、适合根基台式利用的香蕉插孔。USB 2.0存储器端口简化存储测试了局和仪器配置，将测试剧本上传至仪器，以及装置系统升级。前面板的所有按钮都选取背光，提高了低照环境下的可视性。

2460型仪器的高分辨率、电容触摸屏和前面板节造允许直观操作，即便新用户也感应易用。

4种“Quickset”模式简化了一路设置。只需轻轻一触，就可以为分歧工作模式急剧配置仪器，无需为这个操作进行间接配置。

一触Quickset模式加快丈量设置，把丈量功夫降至更短。

全面的内建衔接性
通过2460型仪器后面板，能够接入后面板接入螺丝端子衔接器、程控节造接口(GPIB、USB 2.0与LXI/Ethernet)、 D-sub 9插针数字I/O端口(用于内部/表部触发器信号和处置法式节造)、仪器互锁节造以及TSP-Link?插孔，从而简化多台仪器测试规划配置，并省去额表适配器附件的花销。

2460型仪器后面板衔接已经优化，以维持信号齐全性，并加快系统设置

将原始数据转化为信息
齐全的画图窗口能够转化原始数据，并当即显示为有效信息，如半导体I-V曲线和伏安图。使用2460型仪器的电子表（Sheet）浏览，测试数据还能够以表格大局显示。该仪器支持将数据输出至电子数据表，用于进一步分析，大大提高钻延注台式测试、设备资格和调试的出产率。

TriggerFlow?构建�？�，适合仪器节造与执行
2460型仪器选取吉时利TriggerFlow触发系统，便于用户对仪器执前进行节造。TriggerFlow图形的创建与流程图绘造根基一样，它选取4个根基的构建�？椋�

期待 ? 期待一个事务的产生，而后持续流动
分支 ? 当前提满足时进行分支
作为 ? 启动仪器作为，如丈量、源、延长、设置数字I/O等
通知 ? 通知其他设备已产生的事务

2460 数字源表?源丈量单元（SMU）仪器
TriggerFlow构建�？樵市泶唇ùシ⒛Ｐ�，从极单一到高度复杂的触发模型。

利用这些构建�？樽楹夏芄煌ü懊姘骞菇═riggerFlow 模型，也能够通过发送程控号令进行构建。有了TriggerFlow 系统，用户能够构建各类触发模型，蕴含单一触发模型以及多至255�？榈燃兜母丛哟シ⒛Ｐ�。2460型仪器还蕴含根基的触发职能，如即时/按时器/手动触发。

内建数据显示、画图和电子数据表输出职能，很容易将测试了局转化为有效信息。

无与伦比的系统集成与编程矫捷性
当2460型仪器配置为多通路I-V测试系统时，嵌入式测试剧本处置器(TSP?)允许其运行测试剧本，因而用户能够创建职能壮大的测试利用，并大幅缩短开发功夫。TSP技术还提供无需主机的通路扩大能力。吉时利的TSP-Link?通路扩大总线选取100 Base T以太网电缆，能够在主从配置中实现多部 2460型仪器与其他TSP仪器的衔接，如吉时利2450型数字源表源丈量（SMU）单元仪器、2600B系列系统数字源表源测量（SMU）单元仪器及3700A系列开关/多用表系统，使之作为一个集成系统工作。每个GPIB或IP地址的TSP-Link扩大总线支持32部设备，因而很容易扩大系统，满足具体的利用需求。2460型仪器还蕴含SCPI编程模式，能够充分利用仪器的各类能力。

并行测试能力
2460型仪器的TSP技术支持多个器件并行测试，能够满足器件钻延注先进半导体尝试室利用级高吞吐出产测试需要。这个并行测试能力允许系统中的每台仪器运行其自身的齐全测试序列，成立齐全的多线程测试环境。2460型仪器可并行运行的测试数量与系统中仪器数量一样。

免费仪器节造启动软件
2460型仪器蕴含KickStart仪器节造/启动软件，使用户无需编程即可在数分钟内起头测试。在无数情况下，用户只需进行几次急剧丈量，绘造数据图表，并将数据存储至磁盘，以便日后在Excel等软件环境分析数据。KickStart软件提供以下职能:

仪器配置节造，以执行I-V个性分析
X-Y画图、平移和缩放
通过电子数据表/表格浏览数据
保留和输出数据，用于深刻分析
保留测试设置
屏幕截图
测试注解
号令行输入，用于发送和接管数据
HTML援手
GPIB、USB 2.0、以太网兼容

KickStart启动软件让用户在几分钟内做好丈量筹备。

利用现成的仪器驱动法式简化编程

2460 数字源表?源丈量单元（SMU）仪器技法术据：

电压规格^{1, 2}

		电压源			电压丈量³
量程	最大电流	分辨率	正确度 (23° ± 5°C)1 年±(% 设置 + 伏特)	噪声 (RMS) (<10 Hz)	分辨率	输入电阻	正确度 (23° ± 5°C)1 年±(% 读数 + 伏特)
200.0000 mV	7.35 A	5 μV	0.015% + 200 ?V	1 ?V	100 nV	>10 GW	0.012% + 200 ?V
2.000000 V	7.35 A	50 ?V	0.015% + 300 ?V	10 ?V	1 ?V	>10 GW	0.012% + 300 ?V
7.000000 V	7.35 A	250 ?V	0.015% + 2.4 mV	100 ?V	1 ?V	>10 GW	0.015% + 1 mV
10.00000 V	5.25 A	500 ?V	0.015% + 2.4 mV	100 ?V	10 ?V	>10 GW	0.015% + 1 mV
20.00000 V	4.20 A	500 ?V	0.015% + 2.4 mV	100 ?V	10 ?V	>10 GW	0.015% + 1 mV
100.0000 V	1.05 A	2.5 mV	0.015% + 15 mV	1 mV	100 ?V	>10 GW	0.015% + 5 mV

电流规格^{1, 2, 5}

		电压源			电压丈量³
量程	最大电压	分辨率	正确度 (23° ±5°C) ⁴1 年±(% 设置 + 安培)	噪声 (RMS) (<10 Hz)	分辨率⁴	输入电阻⁶	正确度 (23° ±5°C)1 年±(% 读数 + 安培)
1.000000 μA	105 V	50 pA	0.025% + 1 nA	40 pA	10 pA	<100 ?V	0.025% + 700 pA
10.00000 μA	105 V	500 pA	0.025% + 1.5 nA	40 pA	10 pA	<100 ?V	0.025% + 1 nA
100.0000 μA	105 V	5 nA	0.020% + 15 nA	100 pA	100 pA	<100 ?V	0.020% + 10 nA
1.000000 mA	105 V	50 nA	0.020% + 150 nA	1 nA	1 nA	<100 ?V	0.020% + 100 nA
10.00000 mA	105 V	500 nA	0.020% + 1.5 μA	10 nA	10 nA	<100 ?V	0.020% + 1 μA
100.0000 mA	105 V	5 μA	0.020% + 15 μA	100 nA	100 nA	<100 ?V	0.020% + 10 μA
1.000000 A	105 V	50 μA	0.050% + 750 μA	5 μA	1 μA	<100 ?V	0.050% + 500 μA
4.000000 A	21 V	250 μA	0.100% + 3 mA	25 μA	1 μA	<100 ?V	0.100% + 2.5 mA
5.000000 A	10.5 V	250 μA	0.100% + 3 mA	25 μA	1 μA	<100 ?V	0.100% + 2.5 mA
7.000000 A	7.35 V	500 μA	0.150% + 6 mA	125 μA	1 μA	<100 ?V	0.150% + 5 mA

温度系数 (0°?18°C和28°?50°C)： ±(0.10 × 精度指标)/°C

快率 = 1 PLC。
所有规格都在输出开启时确保。
Accuracies apply to 2- and 4-wire mode when properly zeroed.
6.5-digit 电压丈量分辨率.
6位半丈量分辨率。
使用2460-KIT螺丝端子附件时确保正确度规格。
4线模式。

电阻丈量精度(本地或源端丈量)^{1, 2, 3}

量程	缺省分辨率⁴	缺省测试电流	通常正确度(23°C ±5°C)1 年, ±(% 读数 + 欧姆)	加强正确度⁵(23°C ±5°C)1 年, ±(% 读数 + 欧姆)
<2.000000 Ω⁶	1 μΩ	用户界说	电压源 I_ACC + 丈量 V_ACC	丈量 I_ACC + 丈量 V_ACC
20.00000 Ω	10 μΩ	100 mA	0.05% + 0.003 Ω	0.04% + 0.001 Ω
200.0000 Ω	100 μΩ	10 mA	0.05% + 0.03 Ω	0.04% + 0.01 Ω
2.000000 kΩ	1 mΩ	1 mA	0.05% + 0.3 Ω	0.04% + 0.1 Ω
20.00000 kΩ	10 mΩ	100 μA	0.05% + 3 Ω	0.04% + 1 Ω
200.0000 kΩ	100 mΩ	10 μA	0.05% + 30 Ω	0.05% + 10 Ω
2.000000 mΩ	1 W	10 μA	0.06% + 100 Ω	0.06% + 50 Ω
20.00000 mΩ	10 Ω	1 μA	0.14% + 1000 Ω	0.12% + 500 Ω
>20.0000 mΩ⁶	?	User defined	电压源 I_ACC + 丈量 V_ACC	丈量 I_ACC + 丈量 V_ACC

温度系数 (0°?18°C和28°?50°C)： ±(0.10 ×精度指标)/°C

源电流、丈量电阻模式：整体不确定性 = I源正确度 + V丈量正确度 (4线远端丈量)

源电压、丈量电阻模式：整体不确定性= V源正确度 + I丈量正确度 (4线远端丈量)

快率 = 1 PLC。
所有规格都在输出开启时确保。
正确归零后，正确度合用于2线和4线模式。 10. 6位半丈量分辨率。
6位半丈量分辨率。
支持源回读。偏移赔偿开启。
仅源电流丈量电阻或源电压丈量电阻。

其他个性

最大输出功率 ? 100W, 4象限源或阱操作。

源限幅： ? V_源：±7.35V (≤7A量程), ±10.5V (≤5A量程), ±21V (≤4A量程), ±105V ( ≤1A量程)
I_源：±7.35A (≤7V量程), ±5.25mA (≤10V量程), ±4.2A (≤20V量程), ±1.05mA (≤100V量程)

过量程 ? 量程的105%，源和丈量

调节 ? 电压：线路：量程的0.01%，负载：量程的0.01% + 100μV。
电流：线路：量程的0.01%，负载：量程的0.01% + 100pA。

源限幅 ? 电压源电流限幅：双极电流限幅设置为单一值。最幼值为量程的10%。
电流源：<典型值的0.1% （1mA步长, R负载 = 10kΩ, 20V量程）。

V-限幅 / I-限幅精度 ? 增量为设置的0.3%以及根基指标读数±0.02%。

过冲 ? 电压源：<典型值的0.1% （满刻度步长, 电阻负载, 20V量程, 10mA I-限幅）。
电压源: <0.1% typical (1 mA step, RLoad = 10 kΩ, 20 V 量程).

量程变动过冲 ? 量程变动过冲：对100kΩ的齐全电阻负载过冲, 10Hz～20MHz带宽，邻近量程：<250mV，典型值。

输出成立功夫 ? 输出成立功夫：与最终值相差0.1%所需的功夫, 20V量程, 100mA I-限幅：<200μs，典型值。

最大斜率 ? 最大斜率：1V/μs，100V量程，对20kΩ负载，限幅为100mA (典型值)。0.6V/μs，20V量程，对20kΩ负载，限幅为100mA (典型值)。

过压�；� ? 过压�；ぃ河没Э裳≡裰�5% ±0.5V容限。出厂缺省值=无。

电压源噪声 ? 10Hz?20MHz (RMS)：<4.5mV，针对电阻负载的典型值。

共模电压 ? 250V DC

共模隔离 ? >1G Ω, <1000 pF.

噪声抑造(典型值)：

NPLC	NMRR	CMRR
0.01	?	60 dB
0.1	?	60 dB
1	60 dB	100 dB

负载阻抗 ? 通常模式：20nF，典型值。

大电容模式 ? 不变至50μF，典型值。对于≥100μA量程，大电容模式有效。

FORCE和SENSE端之间的最大电压降：5V

丈量引线最大电阻 ? 1MΩ，针对额定精度。

丈量输入阻抗 ? >10 GΩ.

�；て频缪� ? <300 ?V, 典型值

系统丈量快率¹

频率为60Hz (50Hz)的读取快率(读数/秒) 典型值，剧本(TSP?)可编程

NPLC	触发源	对内存丈量	对GPIB/USB/LAN丈量	对内存的源丈量	对GPIB/USB/LAN的源丈量
0.01	内部	3050 (2800)	2800 (2500)	1700 (1600)	1650 (1550)
0.01	表部	2300 (2100)	2150 (2000)	1650 (1550)	1600 (1450)
0.1	内部	540 (460)	530 (450)	470 (410)	470 (400)
0.1	表部	500 (420)	500 (420)	460 (390)	450 (350)
1.00	内部	59 (49)	59 (49)	58 (48)	58 (48)
1.00	表部	58 (48)	58 (48)	57 (48)	57 (46)

频率为60Hz (50Hz)的读取快率(读数/秒) 典型值，SCPI可编程

NPLC	触发源	对内存丈量	对GPIB/USB/LAN丈量	对内存的源丈量	对GPIB/USB/LAN的源丈量
0.01	内部	3000 (2800)	3000 (2790)	1700 (1600)	1550 (1500)
0.01	表部	2330 (2150)	2330 (2150)	1650 (1550)	1500 (1450)
0.1	内部	540 (460)	540 (460)	470 (410)	460 (400)
0.1	表部	510 (430)	510 (430)	470 (400)	460 (390)
1.00	内部	59 (49)	59 (49)	58 (48)	58 (48)
1.00	表部	58 (49)	58 (49)	58 (48)	58 (48)

超低电阻&微幼电阻（超导资料电阻）测试规划

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p-002

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